潔(jie)凈室（cleanroom）這個名詞和概念源于18世紀六十年代的歐洲醫學，當時的理解僅限于經噴灑消毒后可以控制創部感染率的處置室、手術室這類滅菌處理的工作環境。現代潔凈室雖然延用了這個名詞，但在定義和內涵上都與原有的概念有根本的不同，現代潔凈室形成一項專門技術，其歷史不過只有半個世紀。隨著科技的發展潔凈技術（cleanroom）是適應實(shi)驗研究與產品加工的(de)精密化(hua)、微型化(hua)、高純度(du)、高質量(liang)和高可(ke)靠性(xing)等(deng)方面要求而誕生的(de)一(yi)門新興技術。 本文主要從潔凈室的(de)等(deng)級標準、領(ling)域劃分、等(deng)級要求幾個方面講述粒子計數器在潔凈室的(de)檢測作用(yong)。
潔凈室等級標準(zhun)
潔凈室等級(ji)標準(zhun)和國際標準(zhun)ISO 14644一樣,都是根據懸浮(fu)粒(li)子(zi)(zi)濃度(du)這個指標來劃分(fen)(fen)潔凈(jing)室（區(qu)）及相關(guan)受(shou)控(kong)環境中空氣潔凈(jing)度(du)的等級，并(bing)且僅考(kao)慮粒(li)徑限(xian)值（低限(xian)）在(zai)0.1um～5.0um 范(fan)圍內呈累積分(fen)(fen)布的粒(li)子(zi)(zi)群。根據粒(li)子(zi)(zi)徑，可以劃分(fen)(fen)為常規粒(li)子(zi)(zi)（0.1um～5.0um）、超(chao)微粒(li)子(zi)(zi)（＜0.1um）和宏粒(li)子(zi)(zi)（＞5.0um）。
潔凈室及潔凈區空氣中懸浮粒子(zi)潔凈度等級
ISO14644-1：2015規(gui)定(ding)的(de)潔(jie)凈(jing)度等級(ji)以及傳統(tong)分級(ji)
| ISO等級序數（N） | 大于等于表中被考慮粒徑的粒子最大允許濃度（個/立方米） | |||||
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
| 1 | 10b | d | d | d | d | e |
| 2 | 100 | 24b | 10b | d | d | e |
| 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35b | d | e |
| 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83b | e |
| 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | d,e,f |
| 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
| 7 | c | c | c | 352,000 | 83,200 | 2,930 |
| 8 | c | c | c | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 |
| 9g | c | c | c | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
潔凈室的領域劃分
潔凈室的(de)劃分(fen)是(shi)以單位體積內所含灰(hui)塵(chen)數來計算的(de)，數目越(yue)(yue)小表示潔凈等級(ji)越(yue)(yue)高(gao)，一(yi)般每一(yi)級(ji)的(de)劃分(fen)都有(you)不同(tong)直徑灰(hui)塵(chen)數的(de)要求，比如(ru)一(yi)般藥廠、汽車4s店，十萬級或萬級就夠了，但這對電子行業（尤其是微電子行業）僅僅是要求，比如半導體行業等級要求的測試間(jian)一般都不(bu)能高于1萬級。下面我們(men)通過(guo)工業(ye)無塵室(shi)詳細了解一下。
依據美國聯邦政(zheng)府(fu)頒(ban)布的標(biao)準，可(ke)將(jiang)無(wu)塵室分(fen)為六級。分(fen)別(bie)是(shi)1級、10級(ji)(ji)(ji)(ji)、100級(ji)(ji)(ji)(ji)、1000級(ji)(ji)(ji)(ji)、10000級(ji)(ji)(ji)(ji)、100000級(ji)(ji)(ji)(ji)，如(ru)(ru)果(guo)無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)室(shi)(shi)的(de)(de)等級(ji)(ji)(ji)(ji)只用(yong)(yong)塵(chen)(chen)(chen)粒(li)(li)數(shu)(shu)目來敘述，則可假設塵(chen)(chen)(chen)粒(li)(li)的(de)(de)尺寸為0.5µm，例如(ru)(ru)，1級(ji)(ji)(ji)(ji)、10級(ji)(ji)(ji)(ji)、100級(ji)(ji)(ji)(ji)無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)室(shi)(shi)最(zui)大塵(chen)(chen)(chen)粒(li)(li)數(shu)(shu)目分(fen)別小于或等于1顆(ke)、10顆(ke)、100顆(ke)。并且(qie)通過(guo)(guo)(guo)FS209E標準劃分(fen)，每(mei)立方(fang)英(ying)尺里面允(yun)許含(han)有(you)(you)最(zui)多的(de)(de)0.5微(wei)(wei)米塵(chen)(chen)(chen)埃粒(li)(li)子(zi)的(de)(de)數(shu)(shu)量就(jiu)(jiu)是(shi)(shi)(shi)潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)(shi)的(de)(de)等級(ji)(ji)(ji)(ji)，比如(ru)(ru)每(mei)立方(fang)英(ying)尺允(yun)許含(han)有(you)(you)最(zui)多1000個(ge)(ge)0.5微(wei)(wei)米的(de)(de)例子(zi)，那(nei)么(me)這個(ge)(ge)潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)(shi)就(jiu)(jiu)是(shi)(shi)(shi)千(qian)級(ji)(ji)(ji)(ji)，如(ru)(ru)果(guo)是(shi)(shi)(shi)10000個(ge)(ge)粒(li)(li)子(zi)就(jiu)(jiu)是(shi)(shi)(shi)萬(wan)級(ji)(ji)(ji)(ji)，總共(gong)是(shi)(shi)(shi)從一(yi)級(ji)(ji)(ji)(ji)，十級(ji)(ji)(ji)(ji)，百級(ji)(ji)(ji)(ji)，千(qian)級(ji)(ji)(ji)(ji)，萬(wan)級(ji)(ji)(ji)(ji)到(dao)百萬(wan)級(ji)(ji)(ji)(ji)；工(gong)(gong)業無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)室(shi)(shi)主(zhu)要(yao)(yao)(yao)控制無(wu)(wu)生(sheng)(sheng)(sheng)命微(wei)(wei)粒(li)(li)對(dui)工(gong)(gong)作對(dui)象的(de)(de)污染，其內(nei)部(bu)一(yi)般保(bao)持正(zheng)壓，它適用(yong)(yong)于精密工(gong)(gong)業、電子(zi)工(gong)(gong)業、航天(tian)工(gong)(gong)業、化(hua)學工(gong)(gong)業、印刷工(gong)(gong)業等部(bu)門。工(gong)(gong)業無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)車間(jian)(jian)只要(yao)(yao)(yao)控制參數(shu)(shu)是(shi)(shi)(shi)溫度(du)(du)、濕度(du)(du)、風速(su)、流(liu)場、潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)度(du)(du)。因此為了(le)滿足凈(jing)(jing)化(hua)車間(jian)(jian)內(nei)的(de)(de)潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)度(du)(du)及熱(re)濕平衡，需要(yao)(yao)(yao)較大的(de)(de)送風量，300平方(fang)米的(de)(de)車間(jian)(jian)，高度(du)(du)為2.5米，如(ru)(ru)果(guo)是(shi)(shi)(shi)萬(wan)級(ji)(ji)(ji)(ji)，就(jiu)(jiu)需要(yao)(yao)(yao)300×2.5×30=22500m3/h的(de)(de)送風量（換氣次(ci)(ci)數(shu)(shu)是(shi)(shi)(shi)≥25次(ci)(ci)/h）；如(ru)(ru)果(guo)是(shi)(shi)(shi)十萬(wan)級(ji)(ji)(ji)(ji)，送風量就(jiu)(jiu)需要(yao)(yao)(yao)300×2.5×20=15000m3/h（換氣次(ci)(ci)數(shu)(shu)是(shi)(shi)(shi)≥15次(ci)(ci)/h）。此外為保(bao)持無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)室(shi)(shi)的(de)(de)潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)度(du)(du)，進(jin)出(chu)的(de)(de)人(ren)員(yuan)有(you)(you)一(yi)定的(de)(de)穿著(zhu)規(gui)定；10000與100000級(ji)(ji)(ji)(ji)，必須穿著(zhu)長袍無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)衣、無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)鞋、帶(dai)帽子(zi)與面罩；1000級(ji)(ji)(ji)(ji)(含(han))以上，需穿著(zhu)特殊(shu)的(de)(de)潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)連身衣、無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)鞋將全(quan)身裹住，并帶(dai)上手套和面罩。所以每(mei)間(jian)(jian)潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)(shi)都配有(you)(you)高效空(kong)氣顆(ke)粒(li)(li)物 （HEPA） 過(guo)(guo)(guo)濾器，防止空(kong)氣傳播生(sheng)(sheng)(sheng)物與病毒生(sheng)(sheng)(sheng)物的(de)(de)傳播。過(guo)(guo)(guo)濾器還(huan)采用(yong)(yong)了(le)正(zheng)壓設計(ji)，將未(wei)過(guo)(guo)(guo)濾的(de)(de)空(kong)氣隔離在房(fang)(fang)間(jian)(jian)外部(bu)，同時風淋室(shi)(shi)可在工(gong)(gong)作人(ren)員(yuan)與產(chan)品進(jin)入房(fang)(fang)間(jian)(jian)前去除沾染的(de)(de)顆(ke)粒(li)(li)物。潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)(shi)的(de)(de)審核(he)維(wei)護流(liu)程包括對(dui)微(wei)(wei)生(sheng)(sheng)(sheng)物的(de)(de)計(ji)數(shu)(shu)，確保(bao)符(fu)合潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)度(du)(du)和生(sheng)(sheng)(sheng)物負(fu)載水平的(de)(de)要(yao)(yao)(yao)求。
